Đo độ dày màng

Sử dụng dữ liệu hệ số phản xạ để đo độ dày của màng một lớp hoặc nhiều lớp trong khoảng 50 nm đến 10 μm.

Đo màu đối tượng

Hiển thị biểu đồ sắc độ XY, biểu đồ sắc độ L*a*b* và các giá trị số liên quan của chúng dựa trên dữ liệu hệ số phản xạ.

Cung cấp phép đo tốc độ cao

Các phép đo nhanh chóng, độ lặp lại cao có thể đạt được trong vài giây bằng cách sử dụng cách tử trường phẳng, cảm biến vạch và phép đo quang phổ tốc độ cao.

Phù hợp tối ưu để đo độ phản xạ của các bộ phận và ống kính cực nhỏ

Olympus đã thiết kế một vật kính chuyên dụng mới cung cấp các phép đo không tiếp xúc trên một khu vực có đường kính từ 17 đến 70 μm. Ống kính mới cung cấp khả năng lặp lại cao ngay cả trên các bề mặt cong hoặc các bộ phận điện tử nhỏ.

Không yêu cầu xử lý chống phản chiếu ở mặt sau của mẫu

Phép đo chính xác độ phản xạ bề mặt có thể được thực hiện mà không cần thực hiện các bước tốn kém cần thiết để ngăn chặn phản xạ bề mặt phía sau. Ánh sáng phản xạ bề mặt phía sau được giảm thiểu bằng cách sử dụng quang học đặc biệt để chặn tất cả sự phản xạ ánh sáng ngoài tiêu điểm tương tự như một hệ thống đồng tiêu. Cho dù thành phần quang học của bạn là hình cầu, hình cầu hay phẳng, USPM-RU-W không yêu cầu chuẩn bị mẫu thông qua xử lý chống phản xạ.

Phương pháp Peak-valley

Phương pháp này được sử dụng để tính toán độ dày màng dựa trên khoảng thời gian giữa các đỉnh và vùng lõm của giá trị hệ số phản xạ phổ đo được, và có hiệu quả để đo màng một lớp. Không cần cài đặt phức tạp nên việc đo độ dày màng rất dễ dàng.

Phương pháp biến đổi Fourier

Phương pháp này được sử dụng để tính toán độ dày của màng dựa trên khoảng thời gian giữa các giá trị hệ số phản xạ phổ đo được và hiệu quả để đo các màng một lớp và nhiều lớp. Phương pháp biến đổi Fourier loại bỏ nhiễu, do đó có thể thực hiện phân tích khi khó phát hiện các giá trị đỉnh và thung lũng.

Phương pháp Curve Fit

Phương pháp này được sử dụng để tính toán độ dày màng bằng cách ước tính cấu trúc nào có sự khác biệt nhỏ nhất giữa hệ số phản xạ phổ đo được và hệ số phản xạ tính toán cho cấu trúc đó, và hiệu quả để đo các màng một lớp và nhiều lớp. Phương pháp phù hợp đường cong cũng cho phép phân tích màng mỏng trong đó giá trị đỉnh và thung lũng không rõ ràng.

Đánh giá Lớp phủ thấu kính về độ phản xạ, màu sắc và độ dày của màng.

Ống kính máy ảnh điện thoại di động

Ống kính máy chiếu

Ống kính máy ảnh kỹ thuật số

Ống kính Spectacle

Kiểm tra độ phản xạ và độ dày màng của các bộ phận điện tử Minute.

Gói đèn LED

Bo mạch in

Phép đo độ phản xạ, độ dày màng và độ truyền của các yếu tố quang học phẳng.

Bộ lọc màu LCD

Phim quang học

Các yếu tố quang học phản xạ ở góc tới 45 độ.

Lăng kính

Gương soi

Reflectivity measurement

Transmittance Measurement*1

Reflectivity Measurement for 45-Degrees*1

Name

NIR Micro-Spectrophotometer

Transmittance measurement set for NIR Micro-Spectrophotometer

45-degree reflectance measurement set for NIR Micro-Spectrophotometer

Model

USPM-RU-W

Measured wavelength

380 to 1050 nm

Measurement method

Compared with a reference sample for measurement

Transmissivity is measured with 100% as standard

Compared with a reference sample for measurement

Measurement range

See the specifications of the objective lens below

Approx. 2.0 mm in diameter

Measurement repeatability(3σ) *2

Reflectivity measurement

During use of 10x and 20x objective lenses

±0.02% or less (430 to 1010 nm) 

±0.3% or less (430 to 1010 nm) 

±0.2% or less (Except as described above)

±1.0% or less (Except as described above)

During use of a 40x objective lens

±0.05% or less (430 to 950 nm) 

±0.5% or less (Except as described above)

Film thickness measurement

±1%　

–

Wavelength display resolution

1nm

Lighting accessory

Dedicated halogen light source, JC12V 55W (Average life: 700 hours)

Shift stage

Loading surface size: 200 (W) x 200 (D) mm 

With stand load: 3 kg 

Operating range: (XY) ±40 mm, (Z) 125 mm

Tilt stage

－

Loading surface size: 140 (W) x 140 (D) mm 

Withstand load: 1 kg 

Operating range: (XT) ±1*, (YT) ±1*

Weight

Main body: Approx. 26 kg (not including PC)

Main body: Approx. 31 kg (not including PC)*3

Control power box: Approx. 6.7 kg

Dimensions

Main body: 360 (W) x 446 (D) x 606 (H) mm

Main body: 360 (W) x 631 (D) x 606 (H) mm

Control power box: 250 (W) x 270 (D) x 125 (H) mm (Protruding parts are not included)

Power specifications

Input specifications: AC 100-240V (110V) 50/60Hz

Operating environment

Horizontal place not subject to vibration 

Temperature: 15 ºC to 30 ºC 

Humidity: 15% to 60% RH (Free from dew condensation)