Thông số kỹ thuật chính của hệ thống xử lý wafer cổng tải RV201-F07-0

Cung cấp năng lượng

DC24V ± 10% 6A

Không khí nén

0,5MPa đến 0,6MPa 10L / phút trở lên

Khoảng chân không

-60kPa đến -80kPa, 10L / phút trở lên

N2

-

Kích thước sản phẩm (RV201-F07-0)

Tùy chọn

Thông tin pad pin và pin lockout

RF-ID / Mã vạch

Tùy chỉnh đèn chỉ thị

Có sẵn cho E84

Có sẵn cho I / O bên ngoài

Thông số kỹ thuật truyền thông của RS232C

Tính năng sản phẩm

Model RV201-F07-0 là cổng tải tiêu chuẩn. Cơ chế đóng / mở ban đầu của RORZE được sử dụng, việc mở / đóng cửa FOUP được kiểm soát chính xác và hiệu suất làm sạch ở mức độ cao được thực hiện.

Có sẵn cho FOUP và FOSB cửa tự động như là một tiêu chuẩn.

Hiệu suất sạch cao đạt được nhờ cơ chế đóng / mở cửa ban đầu và kiểm soát chuyển động chính xác.