1. Đặc điểm của dòng bơm khô LR/HR/UR
Bơm ở nhiệt độ thấp: Máy bơm dòng LR được thiết kế cho quá trình khóa tải hoặc PVD. Bơm dòng HR được thiết kế cho các quy trình CVD và ăn mòn.
Máy bơm dòng UR được thiết kế cho các ứng dụng yêu cầu bơm được làm nóng, đường khí đốt nóng và/hoặc đường xả được làm nóng.
Khả năng bơm Heli tuyệt vời: Động cơ đóng hộp an toàn và dễ bảo trì.
Bảo vệ khi mất điện: Máy bơm chịu được sự cố ngắt điện trong thời gian lên đến 1000 ms.
Các thành phần bên trong được xử lý đặc biệt mang lại độ cứng bề mặt và khả năng chống ăn mòn cao. Điều này ngăn ngừa mài mòn các bộ phận bên trong máy bơm khi tiếp xúc với khí ăn mòn.
Dữ liệu máy bơm bao gồm các cảnh báo và có thể được xuất ra. Kiểm soát bơm mở rộng có sẵn.
Đáp ứng tiêu chuẩn CE
2. Ứng dụng
Bơm được thiết kế cho các ứng dụng CVD hoặc ăn mòn, các quy trình PVD, bay hơi hoặc xử lý nhiệt/ được thiết kế để xử lý khí quá trình tạo ra bột bởi các sản phẩm như lò nung tinh thể Si.
Link catalogue: https://ulvac.com.vn/san-pham/vacuum-component/bom-chan-khong/bom-kho-tang-toc-nhieu-cap-dong-lr-hr-ur/